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  • 東元伺服應用于LED固晶機上

    隨著IT產業和半導體行業的發展,集成電路市場呈現穩定增長趨勢。一方面,固晶機等半導體設備在市場上需求越來越大,另一方面,LED產業的蓬勃發展對LED生產設備的要求也越來越高,與此同時,IPC技術的快速發展為滿足以上需求提供了保證。
    東元伺服在固晶機的應用
    固晶機上總共采用4套200W伺服(JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK)和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK),分別控制X,Y軸傳動機構以及鍵合臂取晶動作。其中要求最高的為控制鍵合臂的100W伺服。
    伺服動作要求
    100W伺服電機通過同步帶帶動連桿快速正反轉實現裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移,逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求:1.快速定位時,馬達要平穩,不能抖動,否則吸晶和固晶的位置會不準確;2.客戶要求每個動作周期盡量的快,由此對伺服的響應有較高要求。
    通過伺服增益參數的調整,最終可以實現鍵合臂伺服在3msec內完成整定,整個固晶周期為245msec/顆,獲得客戶的認可。

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